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CNT   PVD 500


 

 

系統特色

系統採夾層式水路冷卻腔體

可升溫系統至450

搭載超高真空渦輪幫浦

可抽真空至5*10-5Torr

可安裝4~8PVD鍍膜靶源

置具為8軸之3層公自轉機構

可提升系統批次產量

置具可整組進出

方便Loading/Unloading生產

全自動化鍍膜生產

可遠端網路診斷及程式除錯

镀膜:TiNCrNAlTiNAlCrNDLC